发明名称 |
场致离子发射体的制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种场致离子发射体制备方法,包括在碳纳米管阵列表面,通过热蒸镀或者电子束蒸发、磁控溅射方法在碳纳米管阵列表面镀上一层低熔点金属铟(In)或镓(Ga),作为场致发射的发射体。本发明的制备方法可以降低场致离子发射体的制备难度,减小发射体的尺寸,从而提高场致离子发射器的整体性能。将该发射体放入场致离子发射测试装置,其可以在1500V电压下实现发射。而一般采用微米级尖状发射体发射电压需要3000-5000V。 |
申请公布号 |
CN105609394A |
申请公布日期 |
2016.05.25 |
申请号 |
CN201610104405.9 |
申请日期 |
2016.02.25 |
申请人 |
北京卫星环境工程研究所 |
发明人 |
刘宇明;张凯;李蔓;赵春晴;刘向鹏 |
分类号 |
H01J9/02(2006.01)I;F03H1/00(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I;C23C14/24(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I |
主分类号 |
H01J9/02(2006.01)I |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
一种场致离子发射体制备方法,包括如下步骤:在碳纳米管阵列表面,通过热蒸镀或者电子束蒸发、磁控溅射方法在碳纳米管阵列表面镀上一层低熔点金属铟(In)或镓(Ga),作为场致发射的发射体。 |
地址 |
100094 北京市海淀区友谊路104号 |