基于元胞自动机的刻蚀表面演化模型压缩方法

摘要

本发明涉及一种面向元胞自动机的刻蚀表面演化模型的压缩方法，属于微电子加工中刻蚀过程模拟领域；该方法采用游程编码对表面演化模型进行压缩表示，首先对各部分的材料元胞进行属性定义，分别定义了单个元胞材料编码和整体材料编码；然后根据模型特征选择以模型的垂直列为压缩单元，根据游程编码制定相应的压缩规则；分别对模型的每个垂直列自上而下进行压缩，从而实现模型的压缩表示。本发明既大幅度地减少了模型表示所需的内存空间，又保证了仿真过程的计算效率。

主权项

一种面向元胞自动机的刻蚀表面演化模型的压缩方法，其特征在于：该方法采用游程编码对表面演化模型进行压缩表示，包括以下步骤：1)首先对各部分的材料元胞进行属性定义；2)根据模型特征选择以模型的垂直列为压缩单元，将模型划分成多个压缩单元；3)根据游程编码制定压缩规则，对所述压缩单元按自上而下顺序进行压缩，从而实现对整个模型的压缩；该方法具体包括：1)各部分的材料元胞进行属性定义：a)对单个元胞中的材料进行编码，一个编码对应一种化学材料，范围为0～200，用1个字节表示，其中0代表空元胞；b)整体材料编码：在模型的一个垂直列中，如果同一种材料元胞的连续个数则将连续256个元胞作为一个整体，同时设定一个编码，范围为201～255，用1个字节表示；2)然后根据模型特征选择以材料元胞的垂直列为一个压缩单元，将模型划分成多个压缩单元；3)根据游程编码制定压缩规则，对每个压缩单元按自上而下顺序进行压缩，从而实现对整个模型的压缩，具体包括：a)用压缩单元编码中最前两字节的第0～14比特位表示该压缩单元最上方的空元胞个数，个数范围为0～32767；b)用压缩单元编码中最前两字节的第15比特位表示该压缩单元是否包含掩膜元胞，1表示有掩膜元胞，0代表没有掩膜元胞；c)对于压缩单元中同一材料元胞，若该材料元胞连续个数时，用2个字节表示，第一字节为元胞的材料编码，第二字节为元胞的个数；若该材料元胞连续个数时，则将个数表示为(M，T∈[0，255]且均为整数)，然后用4个字节表示，其中，第一字节为该元胞材料对应的整体编码，第二字节为M的数值，第三字节为元胞的材料编码，第四字节为T的数值；d)对模型中每个压缩单元重复步骤a)‑c)，从而实现对整个模型的压缩。