| 发明名称 | 一种干燥区间排气门的控制方法和装置及干燥区间设备 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种干燥区间排气门的控制方法和装置及干燥空间设备，包括：在干燥区间和工艺腔之间，设置开关阀门，在干燥区间排气门处设置联动阀门，根据所述开关阀门的状态控制所述联动阀门，使得所述开关阀门和所述联动阀门满足互锁关系。本发明实施例有效降低了干燥区间的污染程度，减少了玻璃基板背面污染物的发生率，提高了设备维护的便利性和产品品质。 | ||
| 申请公布号 | CN103887211B | 申请公布日期 | 2016.05.25 |
| 申请号 | CN201410081087.X | 申请日期 | 2014.03.06 |
| 申请人 | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 | 发明人 | 寇克瑜;于凯;李伟;宋泳珍;白忠飞;王其辉;郑云亮;董志学;徐国军;徐言龙 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人 | 李迪 |
| 主权项 | 一种干燥区间排气门的控制方法，其特征在于，包括：在干燥区间和工艺腔之间，设置开关阀门，在干燥区间排气门处设置联动阀门，根据所述开关阀门的状态控制所述联动阀门，使得所述开关阀门和所述联动阀门满足互锁关系。 | ||
| 地址 | 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 | ||