退火装置和退火工艺

摘要

本发明涉及一种退火装置及退火工艺，其中退火装置包括：温度梯度预热单元，用于采用梯度温度对待退火的基板进行梯度预热；高温单元，用于对经过预热的基板进行高温加热；移动装置，用于在基板经过梯度预热时和/或预热后，将基板从所述温度梯度单元运送至所述高温单元。本发明的有益效果是：采用梯度加热的方式，对基板进行预热处理，提高了退火效率。增加了等离子体诱导单元和电磁场辅助高温单元，多种功能集成且提高了退火效率。

主权项

一种退火装置，其特征在于，包括：温度梯度预热单元，用于采用梯度温度对待退火的基板进行梯度预热；高温单元，用于对经过预热的基板进行高温加热；移动装置，用于在基板经过梯度预热时和/或预热后，将基板从所述温度梯度预热单元运送至所述高温单元；所述温度梯度预热单元包括多个第一频闪灯，沿所述基板的移动方向排列设置，且沿基板的移动方向所述第一频闪灯的功率依次增大，实现对基板的梯度预热。