LED基板处理

摘要

本发明的实施例关于用于热处理基板的包括发光二极管(LEDs)的基板处理装置及方法。这种光源提供多种优点，包括效率较高且响应时间更快。脉冲宽度是可选择的，可下至少于一毫秒，但对于长脉冲而言可上至一秒和超过一秒。即便在允许较长处理时间的情况下，LEDs仍比钨-卤素灯更好，因为LEDs产生光的效率大于50％，而钨-卤素灯的运作效率小于5％。

主权项

一种用于热处理半导体基板的系统，所述系统包括：光学组件，所述光学组件包括布置成同心圆图案的发光二极管阵列，所述发光二极管阵列配置成发射持续时间在1毫秒至1秒的光脉冲，以同时照射半导体基板的整个上表面，并快速且实质上均匀地加热所述半导体基板的所述整个上表面到至少200℃从而退火所述半导体基板，其中来自各个同心圆的发光二极管的能量输出可经变化以提供所述半导体基板的所述整个上表面的实质均匀加热。