发明名称 光刻胶的胶瓶盖子及胶瓶
摘要 本发明提供一种光刻胶的胶瓶盖子及胶瓶,该胶瓶盖子包括瓶帽、帽芯、盖板和胶管引导锁紧件;其中,瓶帽通过其下部内侧的螺纹与胶瓶的瓶口螺纹连接;帽芯位于瓶口的上方、瓶帽的上部内侧;盖板位于瓶帽和帽芯的上方,并与帽芯相固定;盖板与帽芯之间形成一环形凹槽,瓶帽的上部前端嵌入环形凹槽中,使瓶帽跟盖板与帽芯之间既不可分离又能彼此独立转动;帽芯和盖板上钻有上下贯通的孔眼,胶管引导锁紧件从孔眼中穿过,并与帽芯和/或盖板之间螺纹固定;胶管引导锁紧件的内部中空,引导光刻胶的胶管从中穿过而插入至胶瓶内适当深度,并将胶管与胶瓶盖子锁紧固定。本发明能够将胶管与胶瓶盖子固定,防止胶管因不插到瓶底而造成的抽空,避免晶圆缺胶。
申请公布号 CN104029908B 申请公布日期 2016.05.25
申请号 CN201410312377.0 申请日期 2014.07.02
申请人 上海先进半导体制造股份有限公司 发明人 邹剑平
分类号 B65D47/06(2006.01)I 主分类号 B65D47/06(2006.01)I
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人 徐洁晶
主权项 一种光刻胶的胶瓶盖子(201),其特征在于,包括瓶帽(202)、帽芯(204)、盖板(206)和胶管引导锁紧件(208);其中,所述瓶帽(202)通过其下部内侧的螺纹与光刻胶的胶瓶(200)的瓶口螺纹连接;所述帽芯(204)位于所述瓶口的上方、所述瓶帽(202)的上部内侧;所述盖板(206)位于所述瓶帽(202)和所述帽芯(204)的上方,并与所述帽芯(204)相固定;所述盖板(206)与所述帽芯(204)之间形成一环形凹槽(210),所述瓶帽(202)的上部前端嵌入所述环形凹槽(210)中,使所述瓶帽(202)跟所述盖板(206)与所述帽芯(204)之间既不可分离又能彼此独立转动;所述帽芯(204)和所述盖板(206)上均钻有上下贯通的孔眼(212),所述胶管引导锁紧件(208)从所述孔眼(212)中穿过,并与所述帽芯(204)和/或所述盖板(206)之间螺纹固定;所述胶管引导锁紧件(208)的内部中空,引导光刻胶的胶管从中穿过而插入至所述胶瓶(200)内适当深度,并将所述胶管与所述胶瓶盖子(201)之间锁紧固定。
地址 200233 上海市徐汇区虹漕路385号