分立掩膜和通过利用该分立掩膜装配掩膜框组件的方法

摘要

在分立掩膜和通过利用该分立掩膜装配掩膜框组件的方法中，该分立掩膜包括杆体和夹紧部分，在所述杆体上形成有沉积图案，所述夹紧部件沿所述杆体的纵向从所述杆体向外延伸，所述夹紧部分从所述杆体在宽度上增加。通过利用这种结构，由于在所述掩膜框组件的装配期间，拉紧张力因所述夹紧部分的延伸部分而被施加到所述分立掩膜上，因此防止在所述分立掩膜上形成褶皱，从而获得精确的掩膜框组件。

主权项

一种分立掩膜，包括：杆体，在该杆体上形成有沉积图案；以及夹紧部分，沿所述杆体的纵向从所述杆体向外延伸，所述夹紧部分的宽度从所述杆体增加；其中所述夹紧部分包括延伸部分，所述延伸部分具有从所述杆体向外增加的宽度；并且其中所述夹紧部分进一步包括与所述杆体具有相等的宽度、并连接在所述延伸部分与所述杆体之间的部分。