叉指状竖直平行电容器

摘要

一种叉指状结构，其可以包括：至少一个第一金属线；至少一个第二金属线，其与至少一个第一金属线平行并且与其分离；以及第三金属线，其与至少一个第一金属线的端部接触，并且与至少一个第二金属线分离。至少一个第一金属线并不与任何金属过孔竖直接触，而至少一个第二金属线可以与至少一个金属过孔竖直接触。多层的叉指状结构可以竖直地堆叠。备选地，叉指状结构可以包括多个第一金属线、多个第二金属线，每个金属线并不与任何金属过孔垂直接触。可以在旋转或者不旋转的情况下，使叉指状结构的多个实例横向地复制和结合，和/或竖直堆叠以形成电容器。

主权项

一种器件结构，包括：位于衬底上的至少一个介电层(100)；嵌入在所述至少一个介电层中的多个叉指状结构，其中所述多个叉指状结构相互竖直间隔，并且所述多个叉指状结构中的每个包括至少一个第一金属线(10)、至少一个第二金属线(20)、以及至少一个第三金属线(110)；至少一个第一竖直导电过孔(112)，其具有与所述多个叉指结构中的一个叉指结构内的所述至少一个第三金属线(110)中的一个竖直接触的顶表面，和与所述多个叉指结构中的另一叉指结构内的所述至少一个第三金属线(110)中的另一个竖直接触的底表面；以及至少一个第二竖直导电过孔(22)，其具有与所述多个叉指结构中的一个叉指结构内的所述至少一个第二金属线(20)中的一个竖直接触的顶表面，和与所述多个叉指结构中的另一叉指结构内的所述至少一个第二金属线(20)中的另一个竖直接触的底表面，其中所述至少一个第一金属线(10)与所述至少一个第三金属线(110)中的全部均相互阻性地连接，并且与所述至少一个第二金属线(20)电隔离，以及所述至少一个第二金属线(20)中的全部均彼此或者相互阻性地连接，其中所述至少一个第一金属线(10)中的每个具有贯穿的第一恒定宽度，所述至少一个第二金属线(20)中的每个具有贯穿的第二恒定宽度，并且所述第二恒定宽度大于第一恒定宽度。