发明名称 | 一种背照式图像传感器 | ||
摘要 | 本发明公开一种背照式图像传感器,包括图像传感器芯片与支撑基板,图像传感器芯片正面嵌设有焊盘,图像传感器芯片的正面与支撑基板的顶面分别覆有绝缘层,图像传感器芯片与支撑基板通过键合层键合连接;图像传感器芯片的厚度为15~20um;图像传感器芯片的背面设有P型注入层,图像传感器芯片的背面设有抗反射膜层,抗反射膜层的上表面设有释放出光感应元件区的反光膜层,图像传感器芯片背面还设有使焊盘释放的开窗;图像传感器芯片与支撑基板通过键合层键合连接,具有良好的热匹配性和可靠性;通过对图像传感器芯片背面的处理,提高量子效率;本发明整体结构简单、应力低、可靠性高、焊盘释放结构简单,后续封装可采用常规的引线键合工艺实现。 | ||
申请公布号 | CN105609517A | 申请公布日期 | 2016.05.25 |
申请号 | CN201610026416.X | 申请日期 | 2016.01.16 |
申请人 | 华东光电集成器件研究所 | 发明人 | 谢斌;秦盼;向圆;张乐银;欧阳径桥;吴慧;李彪 |
分类号 | H01L27/146(2006.01)I | 主分类号 | H01L27/146(2006.01)I |
代理机构 | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 | 代理人 | 杨晋弘 |
主权项 | 一种背照式图像传感器,包括图像传感器芯片(1)与支撑基板(2),图像传感器芯片(1)正面嵌设有焊盘(8),其特征在于,所述图像传感器芯片(1)的正面与支撑基板(2)的顶面分别覆有绝缘层(3),图像传感器芯片(1)与支撑基板(2)通过键合层(4)键合连接,键合层(4)位于两个绝缘层之间;所述图像传感器芯片(1)的厚度为15~20um;所述图像传感器芯片(1)的背面设有P型注入层(5),图像传感器芯片(1)的背面设有抗反射膜层(6),抗反射膜层(6)的上表面设有释放出光感应元件区的反光膜层(7),所述图像传感器芯片(1)背面还设有使焊盘(8)释放的开窗(9)。 | ||
地址 | 233042 安徽省蚌埠市经济开发区财院路10号 |