阀、流体控制装置

摘要

流体控制装置(100)具备压电泵(10)和阀(101)。阀(101)具备第二阀壳体(192)、第二密封件(152)、隔膜(120)、第一密封件(151)以及第一阀壳体(191)，并具有将它们依次层叠的构造。第一阀壳体(191)具有第二通气孔(112)、第三通气孔(113)、阀座(139)以及六个开口部(182)。第二阀壳体(192)具有第一通气孔(110)、第一通气孔(111)、阀座(138)、以及六个第一突出部(180)。并且，第二阀壳体(192)具有从X轴方向俯视观察时位于比六个第一突出部(180)更靠周边侧的六个第二突出部(181)。

主权项

一种阀，其特征在于，具备：隔膜，其设有孔部；第一密封件，其设置于所述隔膜的一个主面；第一阀壳体，其经由所述第一密封件与所述隔膜接合，并具有第一孔、位于所述隔膜的一个主面侧并与所述第一孔连通的第一阀室、以及位于比所述第一阀室更靠外侧的位置的多个开口部；第二密封件，其设置于所述隔膜的另一个主面；以及第二阀壳体，其经由所述第二密封件与所述隔膜接合，并具有第二孔、位于所述隔膜的另一个主面侧并与所述第二孔连通的第二阀室、以及位于比所述第二阀室更靠外侧的位置的多个第一突出部，通过所述多个第一突出部与所述多个开口部嵌合，由此所述隔膜经由所述第一密封件以及所述第二密封件而被所述第一阀壳体以及所述第二阀壳体夹持，所述隔膜的所述孔部的周围在所述第二阀室与所述第二阀壳体抵接，从而将所述孔部覆盖，所述第一密封件、所述隔膜以及所述第二密封件的各自的外周比所述第一阀壳体以及所述第二阀壳体的外周小，并设置于比所述多个第一突出部靠内侧的位置，所述第一阀壳体以及所述第二阀壳体的至少一方具有位于比所述多个第一突出部靠外侧的位置的多个第二突出部。