一种硅块清洗装置

摘要

本实用新型提供了一种硅块清洗装置，包括外框，所述外框包括底板以及由所述底板向上延伸的边框，所述底板与所述边框围合成一容置腔；所述底板上设有若干第一通孔，所述边框上设有若干第二通孔，所述第一通孔以及所述第二通孔用于注入清洗液；其特征在于，所述装置还包括多个相互堆叠设置在所述容置腔内的内框，所述内框的底部为包括若干承载条排列而成的镂空结构，所述内框用于装载硅块。本实用新型提供的硅块清洗装置，通过将原来的清洗装置进行分层设置，使得原来硅块与清洗装置的面接触变为线接触，优化多晶硅表面清洗工艺，提高多晶硅料酸洗效率和产品质量，解决了硅块堆积造成酸洗不均匀，出现酸斑和色差的问题。

主权项

一种硅块清洗装置，包括外框，所述外框包括底板以及由所述底板向上延伸的边框，所述底板与所述边框围合成一容置腔；所述底板上设有若干第一通孔，所述边框上设有若干第二通孔，所述第一通孔以及所述第二通孔用于注入清洗液；其特征在于，所述装置还包括多个相互堆叠设置在所述容置腔内的内框，所述内框的底部为包括若干承载条排列而成的镂空结构，所述内框用于装载硅块。