评估多层结构中层的装置和方法

摘要

一种用于评估多层结构中的层的装置，所述层包括层间间隙；多层结构具有横跨轴线大致对齐的多个边缘；该装置包括：(a)用来感测至少一个参数的感测单元；(b)与该感测单元联接的定位单元；定位单元被配置为大致沿该轴线实现对感测单元的移动；和(c)与定位单元和感测单元中的至少一个联接的控制单元。控制单元提供电信号至感测单元。在可替代配置中，控制单元可在感测单元的移动过程中向其提供电信号。随着感测单元移动经过多个边缘，控制单元监控至少一个参数中的变化。控制单元利用至少一个参数中的变化来实现评估。

主权项

一种用于评估多层结构中的层间间隙的装置；所述多层结构具有横跨轴线大致对齐的多个边缘，所述多个边缘围绕横穿所述多层结构的至少一部分并且大致平行于所述轴线的孔；所述装置包括：(a)用来感测至少一个参数的感测单元；(b)与所述感测单元联接的定位单元；所述定位单元包括定位框架，所述定位框架选择性地联接到所述多层结构，使得所述定位框架在联接到所述多层结构时基本限制所述孔，并且使得所述感测单元基本与所述轴线同轴对齐，所述定位单元被配置为利用所述感测单元与所述多层结构之间的空隙实现所述感测单元大致沿所述轴线穿过所述孔的移动，并且被配置为实现所述感测单元围绕所述轴线的旋转；和(c)与所述定位单元和所述感测单元中的至少一个联接的控制单元；所述控制单元提供电信号至所述感测单元；随着所述感测单元移动经过所述多个边缘并且在所述孔内旋转，所述控制单元监控所述至少一个参数中的变化；所述控制单元使用所述至少一个参数中的所述变化来实现所述多层结构的相邻层之间的距离与所述多层结构的层的厚度的所述评估。