| 发明名称 | 真空蒸镀加热装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种真空蒸镀加热装置，包括加热装置外壁(3)、设于所述加热装置外壁(3)内部的坩埚(1)、及设于所述坩埚(1)上的坩埚盖(2)；所述坩埚(1)与加热装置外壁(3)之间对应所述坩埚(1)与坩埚盖(2)的外围设有第一加热线圈(11)；所述坩埚盖(2)的中心设有贯通坩埚盖(2)上下表面的喷口(20)，所述坩埚盖(2)上对应所述喷口(20)的外围设有第二加热线圈(21)；所述第一加热线圈(11)、第二加热线圈(21)分别与电源电性连接并可单独控制进行加热，能够有效降低坩埚水平径向的温差，防止材料堵孔，同时可将直径设计得更大，增加材料放置量，减少开腔次数，提高生产效率；结构简单，易于制作。 | ||
| 申请公布号 | CN105603365A | 申请公布日期 | 2016.05.25 |
| 申请号 | CN201610064564.0 | 申请日期 | 2016.01.29 |
| 申请人 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 发明人 | 刘扬;刘亚伟 |
| 分类号 | C23C14/26(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/26(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人 | 林才桂 |
| 主权项 | 一种真空蒸镀加热装置，其特征在于，包括加热装置外壁(3)、设于所述加热装置外壁(3)内部的坩埚(1)、及设于所述坩埚(1)上的坩埚盖(2)；所述坩埚(1)与加热装置外壁(3)之间对应所述坩埚(1)与坩埚盖(2)的外围设有第一加热线圈(11)；所述坩埚盖(2)的中心设有贯通坩埚盖(2)上下表面的喷口(20)，所述坩埚盖(2)上对应所述喷口(20)的外围设有第二加热线圈(21)；所述第一加热线圈(11)、第二加热线圈(21)分别与电源电性连接并可单独控制进行加热。 | ||
| 地址 | 518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9—2号 | ||