基板装配装置和使用该装置的基板装配方法

摘要

本发明提供基板装配装置和使用该装置的基板装配方法。基板装配装置具有：多个粘附销(8)，从上部基板面(3a)突出而保持上基板(K1)；Z轴驱动机构，使粘附销(8)和上载物台(3)向下载物台行进；多个粘附销板(8a)，安装有多个粘附销(8)；以及上下移动机构(80)，使粘附销板(8a)独立地相对上部基板面(3a)垂直动作，粘附销(8)以针对每个粘附销板(8a)设定的突出量从上部基板面(3a)突出而保持上基板(K1)，在真空环境下，使粘附销(8)保持的上基板(K1)贴合到下基板，在下基板和上基板(K1)相贴合的时刻从上部基板面(3a)引入粘附销(8)，通过上载物台(3)按压上基板(K1)和下基板。

主权项

一种基板装配装置，其特征在于，具有：下载物台，具有保持下基板的下部基板面；上载物台，具有与所述下部基板面对置的上部基板面；多个粘附销，通过在相对所述上部基板面的垂直动作，从所述上部基板面突出而保持上基板；真空腔室，能够在真空环境下容纳所述下载物台、所述上载物台以及所述粘附销；第1驱动机构，使所述粘附销和所述上载物台朝向所述下载物台行进；多个基础部，被安装有1个以上的所述粘附销；第2驱动机构，使多个所述基础部独立地相对所述上部基板面进行垂直动作；第1吸引单元，与在所述粘附销处开口的真空吸附孔连接；以及第2吸引单元，与在所述下部基板面形成的吸引孔连接，所述粘附销以针对每个所述基础部设定的突出量从所述上部基板面突出而保持所述上基板，在所述真空腔室内的真空环境下，所述第1驱动机构进行驱动而使所述粘附销保持的所述上基板贴合到所述下基板，在所述下基板和所述上基板相贴合了的时间点，所述第2驱动机构进行驱动而从所述上部基板面引入所述粘附销，并且所述第1驱动机构进行驱动而通过所述上载物台上按压所述上基板以及所述下基板。