| 发明名称 | 压力传感器 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及压力传感器。被设计为检测压力传感器外部的环境的环境压力值(P<sub>A</sub>)的压力传感器(31)包括：第一基板(12)，具有掩埋腔(16)和悬挂在掩埋腔之上的膜(18)；第二基板(14)，具有凹部(14’)，凹部气密耦合到第一基板(12)，使得凹部限定密封腔(24)，密封腔的内部压力值提供压力基准值(P<sub>REF</sub>)；以及通道(32)，至少部分地形成在第一基板(12)中，并且被配置为将掩埋腔(16)布置为与压力传感器外部的环境连通。膜经受根据密封腔(24)中的压力基准值(P<sub>REF</sub>)和掩埋腔中的环境压力值(P<sub>A</sub>)之间的压力差的偏斜。根据本实用新型的方案，可以提供具有换能信号对温度的降低的依赖性的压力传感器。 | ||
| 申请公布号 | CN205262665U | 申请公布日期 | 2016.05.25 |
| 申请号 | CN201520973372.2 | 申请日期 | 2015.11.30 |
| 申请人 | 意法半导体股份有限公司 | 发明人 | E·杜奇;S·康蒂;S·克斯坦蒂尼 |
| 分类号 | G01L11/00(2006.01)I | 主分类号 | G01L11/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人 | 王茂华 |
| 主权项 | 一种压力传感器(11；31)，其特征在于，适于检测所述压力传感器外部的环境的环境压力值(P<sub>A</sub>)，所述压力传感器包括：‑第一半导体本体(12)，具有内部掩埋腔(16)和悬置在所述掩埋腔之上的膜(18)；‑第二半导体本体(14)，具有凹部(14’)，所述凹部气密耦合到所述第一半导体本体(12)，使得所述凹部(14’)面对所述膜(18)，从而限定密封腔(24)，所述密封腔的内部压力值提供压力基准值(P<sub>REF</sub>)；以及‑通道(26；32)，至少部分地形成在所述第一半导体本体(12)中，并且被配置为将所述掩埋腔(16)设置为与所述压力传感器外部的所述环境流体连通，所述膜(18)被配置为经受根据所述密封腔(24)中的所述压力基准值(P<sub>REF</sub>)和所述掩埋腔(16)中的所述环境压力值(P<sub>A</sub>)之间的压力差的偏斜。 | ||
| 地址 | 意大利阿格拉布里安扎 | ||