无铬光刻板

摘要

本发明涉及无铬光刻板，它包括石英基板，石英基板的上表面的预定位置制作有光刻图形，光刻图形的顶部覆盖有粗化散射表面。优选地，石英基板的下表面的对应位置制作有相同的光刻图形，光刻图形的顶部覆盖有粗化散射表面，其中，位于石英基板的上表面与下表面的光刻图形的垂直投影相互重合。本发明解决了现有技术中的缺陷，实现仅通过使用石英材料本身来制作掩模图形，从而减少光刻板在重复使用过程中的图形失真。

主权项

一种无铬光刻板，它包括石英基板，其特征在于：所述的石英基板的上表面的预定位置制作有光刻图形，所述的光刻图形的顶部覆盖有粗化散射表面。