| 发明名称 | 一种钪掺杂钛酸铋钠压电薄膜的水基制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明属于微电子新材料制备技术领域，特别涉及一种钪掺杂钛酸铋钠压电薄膜的水基制备方法。本发明钪掺杂钛酸铋钠压电薄膜使用水基溶胶凝胶方法制备，以去离子水作为溶剂，前驱体溶液浓度为0.05M～0.1M，在每次旋转涂覆后，都对经过干燥、热解的薄膜进行快速退火，退火气氛为空气，退火温度为600℃～800℃，退火时间为1分钟～4分钟。本发明制备的钪掺杂钛酸铋钠压电薄膜结晶性能良好、表面致密均匀、界面清晰，明显地提高了钛酸铋钠薄膜的压电特性。 | ||
| 申请公布号 | CN105601270A | 申请公布日期 | 2016.05.25 |
| 申请号 | CN201511001331.8 | 申请日期 | 2015.12.28 |
| 申请人 | 北京有色金属研究总院 | 发明人 | 吴云翼;李帅;刘晓鹏;王树茂 |
| 分类号 | C04B35/465(2006.01)I;C04B35/50(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I | 主分类号 | C04B35/465(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人 | 朱琨 |
| 主权项 | 一种钪掺杂钛酸铋钠压电薄膜的水基制备方法，包括以下步骤：(1)制备具有Pt底电极的Si衬底；(2)制备Sc掺杂的(Na0.<sub>85</sub>K<sub>0.15</sub>)<sub>0.5</sub>Bi<sub>0.5</sub>Ti<sub>(1‑x)</sub>Sc<sub>x</sub>O<sub>3</sub>(x＝0～0.4)前驱体溶液；(3)制备Sc掺杂的(Na0.<sub>85</sub>K<sub>0.15</sub>)<sub>0.5</sub>Bi<sub>0.5</sub>Ti<sub>(1‑x)</sub>Sc<sub>x</sub>O<sub>3</sub>薄膜；其特征在于，步骤(2)中制备前驱体溶液时使用的溶剂为去离子水。 | ||
| 地址 | 100088 北京市西城区新街口外大街2号 | ||