| 发明名称 | 一种用于链式干法制绒和真空镀膜的抽真空设备 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供了一种用于链式干法制绒和真空镀膜的抽真空设备，包括：用于硅片进行刻蚀工艺前抽真空的装载腔、用于将硅片完成刻蚀工艺后进行回填大气卸料的卸载腔、第一真空泵以及第二真空泵；装载腔与第一真空泵、第二真空泵连接，卸载腔与第一真空泵、第二真空泵连接。在一个链式连续循环生产体系，装载腔和卸载腔交替抽真空和回填空气以达到在最少时间内完成装载和卸载工作。该实用新型使设备产能最高，操作方便，成本低，创造了显著的经济效益。 | ||
| 申请公布号 | CN205258603U | 申请公布日期 | 2016.05.25 |
| 申请号 | CN201521136886.9 | 申请日期 | 2015.12.31 |
| 申请人 | 常州比太科技有限公司 | 发明人 | 上官泉元;谭兴波;庄正军;包振兴 |
| 分类号 | C23C16/513(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I;C30B33/12(2006.01)I;F04B41/06(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/513(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人 | 李进 |
| 主权项 | 一种用于链式干法制绒和真空镀膜的抽真空设备，其特征在于，包括：用于硅片进行刻蚀工艺前抽真空的装载腔、用于将硅片完成刻蚀工艺后进行回填大气卸料的卸载腔、第一真空泵以及第二真空泵；所述装载腔与所述第一真空泵、第二真空泵连接，所述卸载腔同与所述第一真空泵、第二真空泵连接。 | ||
| 地址 | 213164 江苏省常州市武进区高新技术产业开发区凤翔路7号 | ||