| 摘要 |
【課題】ピーリングに強く、めっきの付き回りが良く、高いＳＮ比を実現することができる光学式エンコーダ用格子板、および光学式エンコーダ用格子板の製造方法を提供すること。【解決手段】可視光または近赤外光を照射光として用い、反射面に対して３０度〜７５度の角度で照射光を照射し、反射面で反射した反射光を受光することで物体の変位量または変位方向を検出する光学式エンコーダに用いられ、一方の表面２１を反射面とする基材２０と、表面２１に所定の格子幅で配列される格子３０とを有し、基材２０として金属を用い、格子３０を黒色めっき層によって形成し、金属の表面２１の平均粗さＲａを０．００８μｍから０．０５μｍの範囲とし、黒色めっき層を３μｍより薄くしたことを特徴とする。【選択図】 図３ |
