发明名称 |
一种全金属电容极板微加速度传感器 |
摘要 |
本发明提供了一种全金属电容极板微加速度传感器。所述的传感器为三层全金属结构,包括动极板和上、下固定极板;其中,动极板包含锚点、质量块、悬臂梁、框架。其连接关系是,所述的锚点与悬臂梁固定连接;悬臂梁和质量块固定连接,构成敏感芯片的可动部分;锚点和框架固定连接;质量块与上、下固定极板之间存在间隙,间隙上、下表面均为全金属结构;所述的上固定极板与动极板锚点上表面通过键合连接;所述的下固定极板与锚点下表面通过键合连接。本发明的键合采用热压键合完成,质量块与上、下极板间的空隙可以灵活精确控制。 |
申请公布号 |
CN104020313B |
申请公布日期 |
2016.05.25 |
申请号 |
CN201410263417.7 |
申请日期 |
2014.06.16 |
申请人 |
中国工程物理研究院电子工程研究所 |
发明人 |
唐彬;席仕伟;姚明秋;程永生;李玉萍;王旭光;沈朝阳;谭刚 |
分类号 |
G01P15/125(2006.01)I |
主分类号 |
G01P15/125(2006.01)I |
代理机构 |
中国工程物理研究院专利中心 51210 |
代理人 |
韩志英 |
主权项 |
一种全金属电容极板微加速度传感器,其特征在于:所述的传感器包括上固定极板(16)、下固定极板(17)、动极板(11);其中,动极板(11)含有锚点(1)、悬臂梁(4)、质量块(5)、上表面动电极(65)、下表面动电极(66)、锚点上键合面(61)、锚点下键合面(62)、上传输电极(63)、下传输电极(64)、框架(12)、引线盘(14);上固定极板(16)含有上限位凸台(81)、上键合面(71)、上引线盘(13)、上基板(2);下固定极板(17)含有下限位凸台(82)、下键合面(72)、下引线盘(15)、下基板(3);其连接关系是,所述的锚点(1)与锚点上键合面(61)、锚点下键合面(62)分别固定连接;所述的锚点(1)与悬臂梁(4)固定连接;所述的锚点(1)与框架(12)、引线盘(14)分别固定连接;所述的悬臂梁(4)与上传输电极(63)、下传输电极(64)分别固定连接;所述的悬臂梁(4)与质量块(5)固定连接;所述的质量块(5)与上表面动电极(65)、下表面动电极(66)分别固定连接;所述的上固定极板(16)与上限位凸台(81)固定连接;所述的上限位凸台(81)与上键合面(71)固定连接;所述的上引线盘(13)与上基板(2)固定连接;所述的下固定极板(17)与下限位凸台(82)固定连接;所述的下限位凸台(82)与下键合面(72)固定连接;所述的下引线盘(15)与下基板(3)固定连接;所述的动极板(11)与上固定极板(16)、下固定极板(17)分别通过键合连接。 |
地址 |
621999 四川省绵阳市919信箱512分箱 |