偏振光相位差板以及激光加工机

摘要

本发明提供一种制作容易且远红外光的透过光量损失少的透过型的偏振光相位差板以及使用了该偏振光相位差板的激光加工机。偏振光相位差板（100），在基板（102）的至少一方的主面上，由与基板（102）相同的材料形成排列了多个凸部（103）的具有一定的周期P的衍射光栅，利用衍射光栅的构造性双折射。衍射光栅的周期P在入射光的波长为λ、基板材料的折射率为n时，满足P＜λ/n。凸部（103）的截面形状从其底部到顶部形成为锥形状（106）。作为基板材料使用ZnS。

主权项

一种偏振光相位差板，在基板的至少一方的主面上，由与基板相同且单一的材料形成有排列了多个凸部的具有一定的周期P的衍射光栅，所述偏振光相位差板由所述基板和衍射光栅构成，利用了所述衍射光栅的结构性双折射，用于远红外激光加工光束，其特征在于，所述衍射光栅的周期P，在入射光的波长为λ、基板材料的折射率为n时满足P＜λ/n，所述凸部的截面形状从其底部到顶部形成为锥形，作为基板材料使用ZnS。