气体激光装置

摘要

气体激光装置具备：供给配管，其形成从外部向气体容器供给的激光气体的供给路径；压力传感器，其检测供给配管内的压力；供给控制阀，其控制向气体容器供给的激光气体的供给量；以及控制装置，其控制供给控制阀的开闭动作。控制装置具备：压力获取部，其获取供给配管内的压力值；压力变化计算部，其基于在使供给配管密闭的状态下由压力获取部在规定时间内多次获取的压力值，来计算供给配管内的压力变化；以及气密性判定部，其基于由压力变化计算部计算的压力变化，来判定供给配管的气密性是否良好。

主权项

一种气体激光装置，具备将激光气体作为介质来振荡出激光的气体激光振荡器，该气体激光装置的特征在于，具备：气体容器，其容纳上述激光气体；供给配管，其形成从上述气体激光振荡器的外部向上述气体容器供给的上述激光气体的供给路径；压力传感器，其检测上述供给配管内的压力；供给控制阀，其控制从上述供给配管向上述气体容器供给的上述激光气体的供给量；以及控制装置，其控制上述供给控制阀的开闭动作，其中，上述控制装置具备：压力获取部，其通过上述压力传感器来获取上述供给配管内的压力值；压力变化计算部，其基于在关闭上述供给控制阀来使上述供给配管密闭的状态下由上述压力获取部在规定时间内多次获取的压力值，来计算上述供给配管内的压力变化；以及气密性判定部，其基于由上述压力变化计算部计算的上述压力变化，来判定上述供给配管的气密性是否良好。