传感器装置、运动传感器、以及电子设备

摘要

提供一种传感器装置、运动传感器、以及电子设备，其防止了由于在传感器元件的调频时所使用的激光而导致的应力缓和层的熔融，并具有稳定的电特性。传感器装置(1)的特征在于，具有：第1电极(11)，其被设置在硅基板(10)的有源面(10a)侧；外部连接端子(12)，其与第1电极电连接；应力缓和层(15)，其被设置在硅基板与外部连接端子之间；连接用端子(13)，其被设置在硅基板的有源面侧；振动陀螺元件(20)，其具有作为质量调节部的锤部(26a、26b、27a、27b、28a、28b)，其中，振动陀螺元件通过连接电极与外部连接端子之间的连接而被保持在硅基板上，所述传感器装置具有被形成在应力缓和层与质量调节部在俯视观察时相重合的部分之间的熔融保护层(42)。

主权项

一种传感器装置，其特征在于，具有：半导体基板；第1电极，其被设置在所述半导体基板的有源面侧；外部连接端子，其与所述第1电极电连接，并被设置在所述有源面侧；应力缓和层，其被设置在所述半导体基板与所述外部连接端子之间；传感器元件，其具有：基部；从该基部延伸的振动部以及连接部；被形成在所述振动部上的质量调节部，所述传感器元件通过所述连接部以及所述外部连接端子之间的连接，从而被保持在所述半导体基板上，所述传感器装置具有熔融保护层，该熔融保护层被形成在所述应力缓和层与所述质量调节部在俯视观察时相重合的部分之间。