发明名称 功率半导体装置
摘要 本发明提供一种接合体、功率半导体装置及它们的制造方法。首先,在第1金属板(101)中的接合部形成区域之上布置包含氧化膜去除剂的水溶液(103)。接下来,在配置了水溶液(103)的状态下,将第2金属板(102)载置于第1金属板(101)之上。然后,从上下方向对第1金属板(101)和第2金属板(102)彼此的接合部形成区域施加载荷,从而将第1金属板(101)和第2金属板(102)相互接合来形成接合部(110),并制造接合体。
申请公布号 CN103228394B 申请公布日期 2016.05.25
申请号 CN201280003849.3 申请日期 2012.08.08
申请人 松下知识产权经营株式会社 发明人 南尾匡纪;笹冈达雄
分类号 B23K20/00(2006.01)I;H01L23/50(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I 主分类号 B23K20/00(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 汪惠民
主权项 一种功率半导体装置,具有接合体,其中,所述接合体在分别由金属构成的第1被接合部件及第2被接合部件的接合部的周围形成有防腐蚀膜,在所述接合部的周围,在所述第1被接合部件及所述第2被接合部件的每一个形成有倒角形状,在所述倒角形状的所述第1被接合部件及所述第2被接合部件的表面形成有所述防腐蚀膜。
地址 日本国大阪府