发明名称 基板移载装置
摘要 本发明提供一种基板移载装置,其包括承载板(1)、及设于所述承载板(1)的四周边缘的数个夹钳(2);所述承载板(1)用于放置基板;所述夹钳(2)用于固定基板;使用所述夹钳(2)固定基板时,所述夹钳(2)末端的夹持端部(223)与承载板(1)共同将基板夹住;所述承载板(1)上对应所述夹钳(2)在夹紧状态下的夹持端部(223)的下方设有凹槽(11);使得所述承载板上未放置基板时,所述夹钳在夹紧状态下的夹持端部伸入所述凹槽中,可避免夹钳与承载板之间的摩擦,从而减少因摩擦而产生的金属异物,提升产品品质。
申请公布号 CN105600447A 申请公布日期 2016.05.25
申请号 CN201610052086.1 申请日期 2016.01.26
申请人 深圳市华星光电技术有限公司 发明人 夏良烘;徐向阳;陈杰
分类号 B65G49/06(2006.01)I 主分类号 B65G49/06(2006.01)I
代理机构 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 代理人 林才桂
主权项 一种基板移载装置,其特征在于,包括承载板(1)、及设于所述承载板(1)的四周边缘的数个夹钳(2);所述承载板(1)用于放置基板;所述夹钳(2)用于固定基板;使用所述夹钳(2)固定基板时,所述夹钳(2)末端的夹持端部(223)与承载板(1)共同将基板夹住;所述承载板(1)上对应所述夹钳(2)在夹紧状态下的夹持端部(223)的下方设有凹槽(11),从而使得所述承载板(1)上未放置基板时,所述夹钳(2)的夹持端部(223)与承载板(1)不接触而不产生摩擦。
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