发明名称 |
基板移载装置 |
摘要 |
本发明提供一种基板移载装置,其包括承载板(1)、及设于所述承载板(1)的四周边缘的数个夹钳(2);所述承载板(1)用于放置基板;所述夹钳(2)用于固定基板;使用所述夹钳(2)固定基板时,所述夹钳(2)末端的夹持端部(223)与承载板(1)共同将基板夹住;所述承载板(1)上对应所述夹钳(2)在夹紧状态下的夹持端部(223)的下方设有凹槽(11);使得所述承载板上未放置基板时,所述夹钳在夹紧状态下的夹持端部伸入所述凹槽中,可避免夹钳与承载板之间的摩擦,从而减少因摩擦而产生的金属异物,提升产品品质。 |
申请公布号 |
CN105600447A |
申请公布日期 |
2016.05.25 |
申请号 |
CN201610052086.1 |
申请日期 |
2016.01.26 |
申请人 |
深圳市华星光电技术有限公司 |
发明人 |
夏良烘;徐向阳;陈杰 |
分类号 |
B65G49/06(2006.01)I |
主分类号 |
B65G49/06(2006.01)I |
代理机构 |
深圳市德力知识产权代理事务所 44265 |
代理人 |
林才桂 |
主权项 |
一种基板移载装置,其特征在于,包括承载板(1)、及设于所述承载板(1)的四周边缘的数个夹钳(2);所述承载板(1)用于放置基板;所述夹钳(2)用于固定基板;使用所述夹钳(2)固定基板时,所述夹钳(2)末端的夹持端部(223)与承载板(1)共同将基板夹住;所述承载板(1)上对应所述夹钳(2)在夹紧状态下的夹持端部(223)的下方设有凹槽(11),从而使得所述承载板(1)上未放置基板时,所述夹钳(2)的夹持端部(223)与承载板(1)不接触而不产生摩擦。 |
地址 |
518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9—2号 |