发明名称 高通量生物薄膜的制备方法和应用
摘要 本发明公开了一种高通量生物薄膜的制备方法,包括以下制备步骤:准备自相似掩膜,根据制备目的,设置基片与所述第一掩膜的相对位置;通过转动所述第一掩膜,在所述基片的四个象限上分别沉积四种不同的沉积组分;引用其他掩膜,重复上述沉积步骤,不同的沉积组分可以选择性地沉积于所述基片的固定位置;上述沉积步骤可以一直继续下去,即以n层、共4×n步的薄膜沉积,得到4<sup>n</sup>个不同组分的生物薄膜;将所有生物薄膜进行退火处理,从而制得高通量生物薄膜,该薄膜可用于生物医疗领域,具有重大意义。
申请公布号 CN105603361A 申请公布日期 2016.05.25
申请号 CN201610022507.6 申请日期 2016.01.14
申请人 深圳市国创新能源研究院 发明人 茆胜;刘威;元崑;李玲
分类号 C23C14/04(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;B05D1/40(2006.01)I 主分类号 C23C14/04(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 高通量生物薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下制备步骤:准备四个自相似掩膜,分别为第一掩膜、第二掩膜、第三掩膜和第四掩膜;根据制备目的,准备沉积组分;准备用于沉积的基片;根据制备目的,设置基片与所述第一掩膜的相对位置;通过转动所述第一掩膜,在所述基片的四个象限上分别沉积四种不同的沉积组分;引入所述第二掩膜,以上述相同的沉积方法在所述基片的四个象限的左上角添加一种新的沉积组分;使用第三掩膜和第四掩膜重复上述沉积步骤,不同的沉积组分可以选择性地沉积于所述基片的固定位置;上述沉积步骤可以一直继续下去,即以n层、共4×n步的薄膜沉积,得到4<sup>n</sup>个不同组分的生物薄膜;将所有生物薄膜进行退火处理;其中,所述沉积组分可以通过脉冲激光溅射沉积法或旋转涂布法沉积于设有掩膜的所述基片上。
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