PURGING DEVICE AND PURGING METHOD

摘要

작업자의 안전을 확보하고 또한 퍼지를 정지하는 범위를 최소한으로 한다. 장치의 내부 스페이스를, 작업 에어리어와 비작업 에어리어로 분할하고, 작업 에어리어에서의 물품에 대한 퍼지를 정지하고, 비작업 에어리어에서의 물품에 대한 퍼지를 속행한다. 작업 에어리어 내의 산소 농도를 측정하고, 작업 에어리어 내의 산소 농도가 소정치 이하로 저하되면, 비작업 에어리어에서의 물품에 대한 퍼지를 정지한다.