声波元件、以及使用该声波元件的双工器和电子设备

摘要

一种声波元件，包括压电体、设置在所述压电体上的氧化铝层、设置在所述氧化铝层上的电极、和设置在所述氧化铝层上以覆盖所述电极的保护膜。所述压电体由具有欧拉角(φ，θ，ψ)的基于铌酸锂的压电材料形成。所述氧化铝层由Al₂O₃形成。所述电极被配置用以激励具有波长λ的主声波。所述保护膜的膜厚大于0.27λ。所述欧拉角满足ψ≤-2φ-3°和-2φ+3°≤ψ中之一、以及-100°≤θ≤-60°和2φ-2°≤ψ≤2φ+2°中的两者。该声波元件能够抑制产生不必要的寄生信号。

主权项

一种声波元件，包括：压电体，由具有欧拉角(φ，θ，ψ)的基于铌酸锂的压电材料形成；氧化铝层，设置在所述压电体上由Al₂O₃形成；电极，设置在所述氧化铝层上；以及保护膜，设置在所述氧化铝层上以覆盖所述电极，所述电极被配置用以激励具有波长λ的主声波，所述保护膜的膜厚大于0.27λ，所述欧拉角满足ψ≤‑2φ‑3°和‑2φ+3°≤ψ中之一、以及‑100°≤θ≤‑60°和2φ‑2°≤ψ≤2φ+2°中的两者。