发明名称 Способ и устройство для удаления покрытия с подложки
摘要 1. Устройство (1), предназначенное для удаления покрывающего слоя, в частности фоточувствительной краски, с подложки (10, 24, 25), по меньшей мере, на участке подложки (10, 24, 25), отличающееся тем, что оно содержит сопло (11, 32), предназначенное для подачи струи растворителя.2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что сопло (11) предназначено для подачи струи растворителя, направляемой внутри струи сжатого воздуха.3. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что оно содержит всасывающее средство (12).4. Устройство по п. 3, отличающееся тем, что всасывающее средство (12) содержит конденсатор.5. Устройство по п. 3, отличающееся тем, что всасывающее средство (12) содержит отражательную стенку (16), предназначенную, по меньшей мере, для частичной конденсации всосанного вещества.6. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что оно содержит приемный элемент (2), предназначенный для удержания, позиционирования, скольжения и/или регулирования ориентации подложки (10).7. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что оно содержит регулирующий блок, предназначенный для регулирования ориентации подложки (10) относительно сопла (11).8. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что оно содержит распознающее средство (28), предназначенное для распознавания контура подложки (24, 25).9. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что оно содержит поворотный силовой привод, предназначенный для обеспечения поворота приемного элемента (30).10. Устройство по одному из пп. 1-9, отличающееся тем, что оно содержит линейный силовой привод и/или линейную направляющую (31), предназначенные для обеспечения скольжения приемного элемента (30) относительно сопла.11. Способ удаления покрывающего слоя, в частности фоточувствительной краски, с подложки (10), по меньшей мере, на участке подложки (10), отличающийся
申请公布号 RU2014142308(A) 申请公布日期 2016.05.20
申请号 RU20140142308 申请日期 2013.03.26
申请人 ЗОЛАР-ЗЕМИ ГМБХ 发明人 МУФФЛЕР Пирмин
分类号 H01L21/67 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人
主权项
地址