Diffraktives optisches Strahlformungselement

摘要

Ein diffraktives optisches Strahlformungselement zur Aufprägung eines Phasenverlaufs(1043) auf einen zur Laserbearbeitung eines Materials vorgesehenen Laserstrahl weist eine flächig ausgebildeten Phasenmaske auf, die zur Aufprägung einer Mehrzahl von strahlformenden Phasenverläufen auf den auf die Phasenmaske fallenden Laserstrahl ausgebildet ist. Mindestens einem der Mehrzahl von strahlformenden Phasenverläufe ist ein virtuelles optisches Bild zugeordnet, das in eine langgezogene Fokuszone zum Ausbilden einer Modifikation im zu bearbeitenden Material abbildbar ist. Mehrere derartige langgezogene Fokuszone können sich räumlich ergänzen und miteinander interferieren, um einem Intensitätsverlauf im Material zu modifizieren und beispielsweise asymmetrische Modifikationszonen zu erzeugen.