发明名称 Verfahren zur Erzeugung von flüssigprozessierten Misch-Metalloxidschichten und ihre Verwendung in elektrischen, elektronischen und opto-elektronischen Bauelementen
摘要 Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von flüssig prozessierten, dünnen Mischmetalloxidschichten sowie deren Verwendung als Elektrode, Elektrodenmodifikationsschicht, Ladungsträgerrekombinationsschicht oder allgemein Ladungsträgertransportschicht in elektrischen, elektronischen oder opto-elektronischen Bauelementen. Ein erfindungsgemäßer Lösungsansatz zur Herstellung dieser Mischmetalloxidschichten besteht darin, verschiedene Metalloxidvorläufer miteinander zu vermischen und hernach zu einer amorphen, semikristallinen oder vollkristallinen Schicht chemisch, thermisch oder photochemisch umzuwandeln. Eine weitere erfindungsgemäße Möglichkeit eine Mischmetalloxidschicht herzustellen besteht darin, einen oder mehrere Metalloxidvorläufer mit Metalloxidnanoteilchen zu mischen. Durch die erfindungsgemäße Herstellung von Mischmetalloxidschichten ist es möglich, diese Schichten hinsichtlich ihrer elektronischen und dielektrischen Eigenschaften so einzustellen, dass sie vorteilhaft zu den benachbarten Schichten in einem elektrischen, elektronischen oder opto-elektronischen Bauelement verwendet werden können.
申请公布号 DE102014017063(A1) 申请公布日期 2016.05.19
申请号 DE20141017063 申请日期 2014.11.14
申请人 Technische Universität Ilmenau 发明人 Hoppe, Harald;Rösch, Roland
分类号 H01L21/321;H01L21/283;H01L31/18;H01L33/40;H01L51/48 主分类号 H01L21/321
代理机构 代理人
主权项
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