发明名称 Verfahren zum Bilden eines Bondpads und Bondpad
摘要 Verschiedene Ausführungsformen schaffen ein Verfahren zum Bilden eines Bondpads, wobei das Verfahren das Bereitstellen eines rohen Bondpads und das Bilden einer Aussparungsstruktur an einer Kontaktfläche des rohen Bondpads umfasst, wobei die Aussparungsstruktur Seitenwände umfasst, die in Bezug auf die Kontaktfläche geneigt sind.
申请公布号 DE102014116956(A1) 申请公布日期 2016.05.19
申请号 DE201410116956 申请日期 2014.11.19
申请人 Infineon Technologies AG 发明人 Hoier, Magdalena;Scherl, Peter;Schneegans, Manfred
分类号 H01L21/60;H01L23/485 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
地址