| 摘要 |
본 발명은, 건식공정으로 제조되며, 박막두께방향으로 3차원 네트워크 다공성 박막 내에 밀도구배를 부여하여, 기판과의 접착성 측면과 외부 물질과의 반응성 측면(비표면적)을 동시에 개선한 3차원 네트워크 구조의 다공성 박막 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 증착챔버 내부에 기판을 위치시키고, 상기 증착챔버 내부를 진공배기하고, 기판의 온도를 소정의 온도로 등온유지하며, 진공 배기된 증착챔버에 공정가스를 주입하여 상기 공정가스가 초기공정압력을 형성하고, 소정의 방법으로 생성된 증착입자의 에너지가 제어되어 상기 기판 상에 증착되는 단계를 포함하고, 상기 증착입자의 증착에 의해 상기 기판 상에 다공성 박막이 형성되며, 증착챔버 내부의 공정압력, 상기 기판의 온도, 기판과 원료물질간의 거리 및 상기 증착입자의 가열온도 중 어느 하나 이상을 시간에 따라 변화시켜 상기 증착입자의 에너지를 변화시키고, 그 결과 상기 다공성 박막 내부에 박막두께방향으로 밀도구배를 갖는 밀도구배를 갖는 3차원 개방형 네트워크 구조의 다공성 박막의 제조방법을 제공한다. |
