FUNCTIONAL FILM PRODUCTION METHOD AND FUNCTIONAL FILM

摘要

기판 (Z) 상에 도료를 사용하여, 할로겐을 함유하지 않은 유기층 (12) 을 형성하고, 유기층 (12) 상에 플라즈마 CVD 에 의해 질화 규소층 (14) 을 형성한다. 이 구성에 의해, 높은 가스 배리어성을 갖는 가스 배리어 필름 등, 고성능의 기능성 필름을 안정적으로 제조할 수 있는 기능성 필름의 제조 방법 및 기능성 필름을 제공한다.