摘要 |
電子デバイスを加工する方法は、第1のQCOLED圧縮値を有するキャリア(10)に結合された薄いガラス板(20)を有する物品(2)を取得するステップを含む。物品は、薄いガラス板の上に第1のデバイス(40)を形成するために、第1の加工サイクルを受け(P1)、第1の加工サイクルの後、キャリアは第1のQCOLED圧縮値より小さい第2のQCOLED圧縮値を有する。薄いガラス板はキャリアから取り外される(P2)。その後、キャリアは、第2のデバイス(50)をその上に形成するために、第2の加工サイクルを受け(P4)、第2の加工サイクルの間に使用される最高加工温度は第1の加工サイクルの間に使用される最高加工温度と同じではない。キャリアの上に第2のデバイスを形成する代わりに、第2の薄板(220)をキャリアに結合し、その上で第3のデバイス(60)を加工することができる。 |