发明名称 電子デバイスを加工する方法
摘要 電子デバイスを加工する方法は、第1のQCOLED圧縮値を有するキャリア(10)に結合された薄いガラス板(20)を有する物品(2)を取得するステップを含む。物品は、薄いガラス板の上に第1のデバイス(40)を形成するために、第1の加工サイクルを受け(P1)、第1の加工サイクルの後、キャリアは第1のQCOLED圧縮値より小さい第2のQCOLED圧縮値を有する。薄いガラス板はキャリアから取り外される(P2)。その後、キャリアは、第2のデバイス(50)をその上に形成するために、第2の加工サイクルを受け(P4)、第2の加工サイクルの間に使用される最高加工温度は第1の加工サイクルの間に使用される最高加工温度と同じではない。キャリアの上に第2のデバイスを形成する代わりに、第2の薄板(220)をキャリアに結合し、その上で第3のデバイス(60)を加工することができる。
申请公布号 JP2016514286(A) 申请公布日期 2016.05.19
申请号 JP20160500944 申请日期 2014.03.10
申请人 コーニング インコーポレイテッド 发明人 ボーデン,ブラッドリー フレデリック;エリソン,アダム ジェームズ;ウィークス,ウェンデル ポーター
分类号 G02F1/13;H01L21/336;H01L29/786 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
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