发明名称 Laseroszillationsmechanismus
摘要 Ein Laseroszillationsmechanismus beinhaltet einen Pulslaseroszillator, der einen Pulslaserstrahl oszilliert, und eine Strahlengangänderungseinheit, die einen Winkel eines Strahlengangs des durch den Pulslaseroszillator oszillierten Pulslaserstrahls ändert. Die Strahlengangänderungseinheit ist aus einer akustooptischen Ablenkeinheit, die eine akustooptische Einrichtung zum Ändern des Strahlengangs des durch den Pulslaseroszillator oszillierten Pulslaserstrahls innerhalb eines effektiven Bereichs beinhaltet, und einem Volumen-Bragg-Gitter gebildet, das von Pulslaserstrahlen, die durch Ändern des Winkels des Strahlengangs des Pulslaserstrahls durch Hindurchtreten durch die akustooptische Einrichtung erhalten werden, einen Pulslaserstrahl, der eliminiert werden soll, durch Brechung von innerhalb des effektiven Bereichs entfernt.
申请公布号 DE102015222440(A1) 申请公布日期 2016.05.19
申请号 DE201510222440 申请日期 2015.11.13
申请人 DISCO CORPORATION 发明人 Nomaru, Keiji
分类号 B23K26/064;H01L21/301;H01L21/78 主分类号 B23K26/064
代理机构 代理人
主权项
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