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发明名称
基板上の高純度アルミニウムトップコート
摘要
処理チャンバ用のチャンバコンポーネントを製造するために、アルミニウムコーティングが、不純物を含む物品上に形成され、アルミニウムコーティングは、実質的に不純物を含まない。
申请公布号
JP2016514213(A)
申请公布日期
2016.05.19
申请号
JP20160500560
申请日期
2014.03.03
申请人
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドAPPLIED MATERIALS,INCORPORATED
发明人
サン ジェニファー ワイ;バンダ サマンス
分类号
C25D11/04;C23C28/00
主分类号
C25D11/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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