发明名称 ツールへかつツールから及び選別機内でトレイを移送するためのトレイエンジン及び方法
摘要 トレイエンジンは、垂直駆動コラムと、垂直駆動コラムを回転させるための回転機構と、垂直駆動コラムに取り付けられたエンドエフェクタとを含む。エンドエフェクタは、垂直駆動コラムに取り付けられたエンドエフェクタベースを含む。エンドエフェクタは、エンドエフェクタベースに取り付けられたスライドを更に含み、存在する時にトレイを支持する。スライドは、トレイがエンドエフェクタベースの長さに沿って摺動することを可能にする。トレイエンジンは、エンドエフェクタベースの長さに沿って移動するためにエンドエフェクタベースに取り付けられた駆動機構を含み、存在する時にトレイが長さに沿って直線的に摺動することを可能にし、かつスライドへ又はそこからトレイをロード又はアンロードする。【選択図】 図5A
申请公布号 JP2016514376(A) 申请公布日期 2016.05.19
申请号 JP20160501853 申请日期 2014.03.13
申请人 ブルックス オートメーション インコーポレイテッド 发明人 ボノラ アンソニー シー;コンピアン ブライアン;ヘンダーソン ジェフ ピー;カールソン ロバート ダブリュ
分类号 H01L21/677;B25J9/04 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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