| 摘要 |
Ein MEMS-Sensor (100) zum Erfassen einer Messgröße, insbesondere ein Differenzdrucksensor zum Erfassen eines Differenzdrucks umfasst: einen Sensorkörper, welcher mindestens zwei in einer Verbindungsebene miteinander verbundene Lagen (110, 112, 114, 119, 121) aufweist, von denen mindestens eine (112, 114, 119, 121), mittels eines Ätzverfahrens strukturiert ist, wobei der MEMS-Sensor einen elektrischen Wandler zum Bereitstellen eines von der Messgröße abhängigen elektrischen Signals aufweist, wobei der Wandler die mindestens eine strukturierte Lage umfasst metallische elektrische Anschlussflächen (138, 140, 142, 144), welche mit dem Wandler elektrisch verbunden sind, wobei der Wandler über die elektrischen Anschlussflächen kontaktierbar ist; dadurch gekennzeichnet, dass die elektrischen Anschlussflächen (138, 140, 142, 144) an mindestens einer Seitenfläche des Sensorkörpers angeordnet sind, die im Wesentlichen senkrecht zu der Verbindungsebene verläuft. |
