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위상차 특성이 서로 상이한 패턴 위상차 필터의 제 1, 제 2 영역의 라인 피치나, 제 1, 제 2 영역의 경계선 폭을 정확하게 측정한다. FPR (3) 의 일방의 면에, 광원부 (4) 로부터의 광을 제 1 편광판 (7) 을 통해 조사한다. FPR (3) 의 제 1, 제 2 영역 (3B, 3C) 은 지상축이 직선 편광광의 편광면에 대해 ± 45°기울어져 있기 때문에, 직선 편광광은 제 1, 제 2 영역 (3B, 3C) 을 지난다. 제 2 편광판 (8) 은 제 1 편광판 (7) 에 대해 크로스 니콜 배치되어 있다. 제 1, 제 2 영역 (3B, 3C) 을 통과한 직선 편광광은 제 2 편광판 (8) 에 의해 차단되고, 제 1, 제 2 영역 (3B, 3C) 의 경계부 등에 발생한 위상차 특성이 불완전한 영역을 지난 광의 일부는, 제 2 편광판 (8) 을 통과하여 에어리어 센서 카메라 (6) 로 검사 화상으로서 촬상된다. |
