基板用キャリア及び基板搬送方法

摘要

堆積チャンバ内で基板（２１０、３１０）を搬送するためのキャリア（２００、３００、４００）が開示される。本キャリアは、基板（２１０、３１０）を垂直に保持するためのフレーム（２４０、２５０、２６０、２７０、３４０、３５０、３６０、３７０、４４０、４５０、４６０、４７０）であって、底部フレーム部分（２４０、３４０、４４０）を備え、実質的に長方形の形状を有する、フレームと、基板（２１０、３１０）をキャリア（２００、３００、４００）にしっかりと固定するための固定手段（２２５、３２５）であって、底部フレーム部分の中心領域（２４０、３４０、４４０）に配置される、固定手段と、基板（２１０、３１０）を支持するがしっかりと固定しない、一又は複数の支持部材（２２０、２３０、３２０）とを含む。更に、堆積中の基板を搬送する方法が開示される。【選択図】図２ａ