| 摘要 |
기판홀더에 기판을 보유지지한 상태에서 확실히 반송한다. 외부로부터의 급전(給電)에 의한 정전력(靜電力)으로 기판을 보유지지하고, 기판을 보유지지한 상태에서 반송되는 기판홀더로서, 기판을 얹어 놓는 홀더본체와, 홀더본체로부터 노출하고, 외부의 전력공급단자에 대해서 착탈 가능한 접속단자를 구비한다. 또, 외부로부터의 급전에 의한 정전력으로 기판을 보유지지한 기판홀더를 반송하기 위한 기판반송장치로서, 기판홀더가 놓이는 재치면(載置面)을 가지며, 기판홀더를 보유지지하는 재치부와, 재치면에 놓인 기판홀더에 급전하는 전력공급단자를 구비한다. |
