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发明名称 コバルト化合物の混合物、及び当該コバルト化合物の混合物を用いたコバルト含有薄膜の製造方法
摘要
申请公布号 JP5919882(B2) 申请公布日期 2016.05.18
申请号 JP20120040534 申请日期 2012.02.27
申请人 宇部興産株式会社 发明人 白井 昌志;二瓶 央
分类号 C07F15/06;C23C16/18;H01L21/28;H01L21/285 主分类号 C07F15/06
代理机构 代理人
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