一种Co-Cr-Pt-SiO₂靶材的制备方法

摘要

本发明公开了一种Co-Cr-Pt-SiO₂靶材的制备方法。该方法主要包括原料粉末的选择、粉末的混合、锭坯的预压成型、反应合成烧结处理、热等静压处理、机加工处理。其中反应合成烧结技术有效改善和提高Co-Cr-Pt-SiO₂靶材中的各物相之间结合，提高了材料的致密度，避免了传统热等静压处理前必须对粉末进行装包套、抽真空、封焊及热等静压后进行去包套处理工艺，有效简化了生产工艺，提高了材料的加工性能，适合进行连续性的工业化生产。

主权项

一种Co‑Cr‑Pt‑SiO₂靶材的制备方法，其特征在于，由下列加工工艺步骤构成：(1)选择Co、Cr、Pt、Si及氧化物为原料粉末；其中Co的含量为45～65at％，Cr的含量为12～35at％,Pt的含量为3～20at％，Si的含量为4～15at％，氧化物的含量为2～20at％；(2)将原料粉末进行混合，混合方式为行星球磨，采用介质球为钢球、玛瑙球或氧化锆球，球料比为5:1～20:1，混粉时间为12～36小时；(3)混粉后采用油压机进行预压成型，在压强为10～200MPa下进行0.5～2小时的预压成型；(4)将步骤(3)中处理好的靶材锭坯抽真空至1x10^‑2～1x10^‑3Pa,再充Ar气至1～20Pa，在850～1000℃进行固相反应合成，时间为1～4小时；(5)将步骤(4)中处理好的靶材进行热等静压处理，热等静压温度为1000～1500℃，压强为100～150MPa，时间为1～16小时；(6)进行机加工处理得到需要尺寸的靶材产品所述氧化物为Co₃O₄、CoO、Co₂O₃、Cr₂O₃中的一种或几种的混合物，靶材锭坯在进行固相反应合成过程中，氧化物与Si粉反应生成SiO₂，靶材锭坯在进行固相反应合成后，致密度可达到理论密度的95％以上，靶材锭坯在进行固相反应合成后生成的SiO₂颗粒细小，其粒度分布范围为100～1000nm，所述的原料粉末纯度均大于或等于99.95wt％，所述的原料粉末Co、Cr、Pt、Si粉末粒度为1～50μm，氧化物粒度为1～10μm。