| 发明名称 | 用于金属熔丝应用的堆叠通道结构 | ||
| 摘要 | 一种具有堆叠的通道（122,132）的后段制程（BOEL）熔丝结构。通道（122,132）堆叠导致高深宽比，而使得通道内的衬里和种子覆盖更差。衬里（124）和种子层的弱化导致电迁移（EM）失效的较高概率。该熔丝结构解决了因差的衬里和种子覆盖引起的失效。设计特征允许确定失效发生在何处、确定在熔丝编程后受损害区域的程度，并防止受损害电介质区域的进一步蔓延。 | ||
| 申请公布号 | CN103460380B | 申请公布日期 | 2016.05.18 |
| 申请号 | CN201280016328.1 | 申请日期 | 2012.03.13 |
| 申请人 | 国际商业机器公司 | 发明人 | R.G.菲利皮;G.伯尼拉;K.钱达;S.格鲁诺;N.E.鲁斯蒂格;A.H.西蒙;王平川 |
| 分类号 | H01L23/62(2006.01)I;H01L21/82(2006.01)I | 主分类号 | H01L23/62(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 焦玉恒 |
| 主权项 | 一种熔丝结构，包括：第一电介质层(120)，具有布置在形成于所述第一电介质层(120)中的第一空腔(121)中的第一导电通道(122)和第一导电线(123)，所述第一导电通道(122)和所述第一导电线(123)具有沿所述第一空腔(121)的至少竖直表面布置的第一衬里(124)；第二电介质层(130)，位于所述第一电介质层(120)上方，所述第二电介质层(130)具有布置在形成于所述第二电介质层(130)中的第二空腔(131)中的第二导电通道(132)和第二导电线(133)，所述第二导电通道(132)和所述第二导电线(133)与所述第一导电通道(122)和所述第一导电线(123)电接触，并具有沿所述第二空腔(131)的至少竖直表面布置的第二衬里(134)；其中所述第一衬里(124)的至少一部分的厚度小于所述第二衬里(134)的厚度。 | ||
| 地址 | 美国纽约阿芒克 | ||