一种高效的太阳能电池片及其热处理工艺

摘要

本发明公开了一种高效的太阳能电池片，包括氮化硅减反膜、N型重掺杂层、P型硅衬底层和背钝化层，所述N型重掺杂层和P型硅衬底层形成PN结，所述氮化硅减反膜设置在N型重掺杂层的上表面，所述背钝化层与P型硅衬底层之间设有氧化硅膜层，所述背钝化层的两侧对称镶嵌有背电极。本发明是一种高效的太阳能电池片，其在P型硅衬底层表面，利用POCl₃液态源扩散工艺制得厚度约为0.5um的N型重掺杂层，正电极可与N型重掺杂层形成良好的欧姆接触，用于收集光生电流,位于最上层的氮化硅减反膜起到钝化和减反射的作用,背钝化层与P型硅片接触，在烧结的过程中，形成良好的Al背场，降低背表面复合电流，增加开路电压。

主权项

一种高效的太阳能电池片，包括氮化硅减反膜（1）、N型重掺杂层（3）、P型硅衬底层（4）和背钝化层（6），其特征在于：所述N型重掺杂层（3）与P型硅衬底层（4）连接，且所述N型重掺杂层（3）和P型硅衬底层（4）形成PN结，所述氮化硅减反膜（1）设置在N型重掺杂层（3）的上表面，所述氮化硅减反膜（1）的两侧对称设有两组正电极（2），所述背钝化层（6）与P型硅衬底层（4）之间设有氧化硅膜层（5），所述背钝化层（6）的两侧对称镶嵌有背电极（7）。