| 摘要 |
기판을 반송하기 위한 수평 다관절 로봇에 있어서, 본체와, 상기 본체에 제 1 관절부에서 회전 가능하게 지지되는 제 1 아암과, 상기 제 1 아암의 선단부상의 제 2 관절부에서 기단부가 회전 가능하게 지지되는 제 2 아암과, 상기 제 2 아암의 선단부상의 제 3 관절부에서 기단부가 회전 가능하게 지지되고, 상기 기판을 탑재하는 포크를 구비한다. 여기서, 상기 제 1 아암이, 상기 제 1 아암의 선단부 상부에 상기 제 1 아암의 기단측 상면보다도 높은 면을 갖는 제 1 아암 볼록부를 갖고, 상기 제 2 아암이 상기 제 2 아암의 선단부 하부에 상기 제 2 아암의 기단측 하면보다도 낮은 면을 갖는 제 2 아암 볼록부를 갖고, 상기 제 1 아암 볼록부와 상기 제 2 아암 볼록부가, 상하 방향의 배치 높이 범위의 적어도 일부가 서로 중첩되도록 배치된다. |
