制备多晶硅的系统

摘要

本实用新型提出了一种制备多晶硅的系统，包括：第一、二还原装置；第一、二尾气回收装置，其分别与第一、二还原装置相连；第一氯硅烷分离装置，其分别与第一尾气回收装置和第一还原装置相连；第二氯硅烷分离装置，其与第二尾气回收装置相连；氯硅烷混合物储罐一，其分别与第一氯硅烷分离装置和第二氯硅烷分离装置相连；四氯化硅转化装置，其分别与第一、二氯硅烷分离装置相连；二氯二氢硅分离装置，其与氯硅烷混合物储罐一相连；反歧化装置，其与二氯二氢硅分离装置相连；三氯氢硅合成装置；精馏提纯装置以及第二三氯氢硅储罐。本系统能更加高效、合理、科学地实现高品质电子级多晶硅产品和太阳能级以上多晶硅产品的专职区隔生产。

主权项

一种制备多晶硅的系统，其特征在于，包括：第一还原装置；第二还原装置；第一尾气回收装置，所述第一尾气回收装置与所述第一还原装置相连；第二尾气回收装置，所述第二尾气回收装置与所述第二还原装置相连；第一氯硅烷分离装置，所述第一氯硅烷分离装置分别与所述第一尾气回收装置和所述第一还原装置相连；第二氯硅烷分离装置，所述第二氯硅烷分离装置与所述第二尾气回收装置相连；氯硅烷混合物储罐一，所述氯硅烷混合物储罐一分别与所述第一氯硅烷分离装置和所述第二氯硅烷分离装置相连；四氯化硅转化装置，所述四氯化硅转化装置分别与所述第一氯硅烷分离装置和所述第二氯硅烷分离装置相连；二氯二氢硅分离装置，所述二氯二氢硅分离装置与所述氯硅烷混合物储罐一相连；反歧化装置，所述反歧化装置与所述二氯二氢硅分离装置相连；三氯氢硅合成装置；精馏提纯装置，所述精馏提纯装置分别与所述第一还原装置、所述四氯化硅转化装置、所述反歧化装置、所述三氯氢硅合成装置相连；以及第二三氯氢硅储罐，所述第二三氯氢硅储罐分别与所述第二还原装置、所述二氯二氢硅分离装置相连。