热式流量传感器

摘要

即使在设置有加热电阻和测温电阻体的基板的膜片部产生变形，也能够减少因变形而产生的连接有测温电阻体的电桥电路的信号变动。在具有基板、基板上形成的膜片（13）、膜片上形成的发热电阻体（2）和温度检测电阻体（7～10），通过对发热电阻体加热而检测被测定流体的流量的热式流量传感器中，相对于膜片上的发热电阻体，在被测定流体的流动的上游一侧和下游一侧，形成有变形检测电阻体（11、12），由变形检测电阻体检测膜片上产生的变形量，基于检测到的变形量进行上述发热电阻体和上述温度检测电阻体检测到的流量信号的变形补偿。

主权项

一种热式流量传感器，其具有基板、所述基板上形成的膜片、所述膜片上形成的发热电阻体和温度检测电阻体，通过对所述发热电阻体加热而检测被测定流体的流量，该热式流量传感器的特征在于：相对于所述膜片上的所述发热电阻体，在被测定流体的流动的上游一侧和下游一侧，形成有变形检测电阻体，由所述变形检测电阻体检测所述膜片上产生的变形量，基于检测到的所述变形量进行所述发热电阻体和所述温度检测电阻体检测到的流量信号的变形补偿，由所述温度检测电阻体(3)、测温电阻体(4)、第一固定电阻(5)、第二固定电阻(6)和所述变形检测电阻体(11、12)构成第一电桥电路，进行将所述温度检测电阻体控制为一定温度的控制，所述第一电桥电路与电源连接，表示所述温度检测电阻体(3)与所述第二固定电阻(6)的连接点的电位的第一接合端子(25)和表示测温电阻体(4)与所述第一固定电阻(5)的连接点的电位的第二接合端子(31)与运算放大器(37)的输入端子连接，为了使第一接合端子(25)与第二接合端子(31)的电位相同，所述运算放大器(37)对向发热电阻体(2)供给的加热电流进行反馈控制，此处的加热电流由被所述运算放大器(37)控制的晶体管(36)供给。