发明名称 |
真空镀膜前处理加工方法 |
摘要 |
本发明公开了一种真空镀膜前处理加工方法,包括:a、高亮镜面在精抛后通过超声波除胶处理;b、对步骤a中除胶处理后的高亮度镜面进行超声波除蜡处理;c、对步骤b中除蜡处理后的高亮度镜面进行表面活化处理;d、对步骤c中表面活化处理后的高亮度镜面进行超声波调和处理;e、对步骤d中调和处理后的高亮度镜面进行超声波除油处理;f、对步骤e中除油处理后的高亮度镜面进行超声波中和处理;g、对步骤f中中和处理后的高亮度镜面采用纯水进行漂洗;h、对步骤g中漂洗后的高亮度镜面进行烘干处理;该能够有效去除精抛后产生的纳米氧化膜,工序简单,有利于后续物理气相沉积处理。 |
申请公布号 |
CN105586567A |
申请公布日期 |
2016.05.18 |
申请号 |
CN201610003478.9 |
申请日期 |
2016.01.04 |
申请人 |
科森科技东台有限公司 |
发明人 |
徐金根;郝立鹏 |
分类号 |
C23C14/02(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/02(2006.01)I |
代理机构 |
北京品源专利代理有限公司 11332 |
代理人 |
巩克栋;侯潇潇 |
主权项 |
真空镀膜前处理加工方法,其特征在于,包括如下步骤:a、除胶超声:高亮镜面在精抛后通过超声波除胶处理;b、除腊超声:对步骤a中除胶处理后的高亮度镜面进行超声波除蜡处理;c、表面活化:对步骤b中除蜡处理后的高亮度镜面进行表面活化处理;d、调和超声:对步骤c中表面活化处理后的高亮度镜面进行超声波调和处理;e、除油超声:对步骤d中调和处理后的高亮度镜面进行超声波除油处理;f、中和超声:对步骤e中除油处理后的高亮度镜面进行超声波中和处理;g、纯水漂洗:对步骤f中中和处理后的高亮度镜面采用纯水进行漂洗;h、烘干:对步骤g中漂洗后的高亮度镜面进行烘干处理。 |
地址 |
224200 江苏省盐城市东台经济开发区纬六路5号 |